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Handbook of Ion Beam Processing Technology (Cuomo, Jerome J. / Rossnagel, Stephen M. / Kaufman, Harold R.)
Handbook of Ion Beam Processing Technology
Untertitel Principles, Deposition, Film Modification and Synthesis
Autor Cuomo, Jerome J. / Rossnagel, Stephen M. / Kaufman, Harold R.
Verlag William Andrew Publishing
Sprache Englisch
Einband Fester Einband
Erscheinungsjahr 1989
Seiten 456 S.
Artikelnummer 41946624
ISBN 978-0-8155-1199-1
Sonstiges Professional & Vocational
CHF 229.00
Nicht (mehr) im Sortiment/Besorgung möglich
Zusammenfassung
Deals with ion beam processing for basic sputter etching of samples, sputter deposition of thin films, the synthesis of material in thin film form, and the modification of the properties of thin films.